日本ORC歐阿希紫外線光量計(jì)

SN型號(hào)已被長(zhǎng)期使用我們的光刻設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛采用，并確保了工藝管理的連續(xù)性。 SD型推薦給已經(jīng)在半導(dǎo)體和液晶基板制造過(guò)程中使用其他公司生產(chǎn)的測(cè)光表的客戶，以及擔(dān)心確保與這些測(cè)量?jī)x器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶（SD型也用于我們光刻設(shè)備中的投影光刻設(shè)備和液晶基板的外圍光刻設(shè)備），以及使用全新測(cè)光表的客戶。

為了保證舊過(guò)程數(shù)據(jù)的兼容性，采用SN型作為SD型的指示值（在相同的測(cè)量條件下測(cè)量我們測(cè)量組中用作校準(zhǔn)輻射源的高壓紫外燈的365nm發(fā)射線時(shí)指示的照度值）： mW/cm2）。

與可見(jiàn)光的測(cè)光表和測(cè)光表（以LUX單位測(cè)量家庭，辦公室，商店，博物館等亮度的測(cè)光表和測(cè)光表）不同，適用于所有測(cè)光表和紫外線測(cè)光表的標(biāo)準(zhǔn)尚未建立（似乎正在為少數(shù)有限的應(yīng)用進(jìn)行JIS轉(zhuǎn)換工作）。 即使每家公司的相對(duì)光譜靈敏度是為了測(cè)量主要由365 nm發(fā)射線組成的光源的照度，從測(cè)量的峰值波長(zhǎng)（相對(duì)光譜靈敏度特征用1表示的波長(zhǎng)）開(kāi)始，短波長(zhǎng)側(cè)（約300 nm~310 nm）和長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)（約380 nm~400 nm）上升， 下降的波長(zhǎng)和前后的曲線略有不同。 此外，在設(shè)計(jì)方面也做出了努力，使光感受器的感光角特性（稱為COSθ特性）更接近理想曲線，但現(xiàn)實(shí)情況是它們尚未實(shí)現(xiàn)。

	接收器（可互換）	UV-SD35（UV-SN35）
	測(cè)量波長(zhǎng)范圍	310~385納米
	測(cè)量光范圍	0.01~999.9mJ/cm2
	測(cè)量照度范圍	帶開(kāi)關(guān)的開(kāi)關(guān) 范圍1：0.01~10.00mW/cm2 范圍2：0.1~50.0mW/cm2
	輸入/輸出信號(hào) （D-sub 連接器）	輸入 （1） 遠(yuǎn)程啟動(dòng) （2） 遠(yuǎn)程停止 繼電器觸點(diǎn)輸出 （1） N。 O.（啟動(dòng)時(shí)打開(kāi)） （2） N. C. （3） 警報(bào)
	對(duì)準(zhǔn)精度	在紫外線標(biāo)準(zhǔn)的 ±2% 以內(nèi)
	重復(fù)性	±2%以內(nèi)

日本ORC歐阿希紫外線光量計(jì)

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