日本ULVAC愛發(fā)科渦旋干式真空泵

特點

• 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。

• 可實現(xiàn)高極限真空。

• 低振動低噪音。

• 維護周期可通過計時表控制。

日本ULVAC愛發(fā)科渦旋干式真空泵

規(guī)格

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